潔淨車間無論是潔淨等級低多少的，都需要進行安裝的維護管理。現在就以萬級淨化車間作為例子進行三部分來加以說明。
    1.萬級潔淨車間內建築物的維護管理：a.車間內定期進行檢查清潔；b.潔淨車間地板及時進行清掃管理及損壞更新；c.車間隔牆及天花板檢查清潔和封補；d.做好窗戶及門的保養等。
    2.萬級潔淨車間內環境測定與管理：萬級淨化車間的運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測，以確實掌握質量。若有異常數據，可立即進行緊急處理。

    3.萬級潔淨車間防塵空調設備的維護管理：a.潔淨車間內溫、濕度及塵埃濃度，參照環境監測，但其量測儀器應做定期校正檢驗，若有空調設備移動或施工時須做局部測量。b.防塵空調過濾網定期檢查及更換。c.潔淨車間內空氣調定期檢查隔板接縫及內部汙染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象。d.送風機定期檢查送風機運轉狀況。e.風管及出風口定期檢查是否有腐蝕、汙染、塵埃堆積或保溫脫落等，以做好及時更換。f.測試及量測儀器定期校正及保養。g.萬級潔淨車間內壓力連續監視室內壓力記錄，以維持正壓為基準。h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析，以調整加藥量等。i.萬級淨化車間安裝停止運轉再開機要點：啟動後立即進行微塵粒子之測試，須萬級淨化車間安裝恢複穩定正常時再開始作業。