無塵潔淨室能耗成本分析：

  　“據不完全統計，潔淨室的能耗是一般寫字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片製造廠，其潔淨室單位麵積能耗達到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類型工廠高15%。”上海市室內環境淨化協會秘書長王芳告訴《中國電子報》記者，“以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51%用於潔淨室運行維護。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業來說就意味著利潤的增長。”
　　不僅如此，潔淨室的建造費用也十分驚人。《電子工業潔淨廠房設計規範》主要起草人之一秦學禮在接受《中國電子報》記者采訪時表示，ISO6級(相當於美國標準FS2091000級)潔淨室單位麵積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(相當於美國標準FS20910級)潔淨室單位麵積建造成本則高達1萬元/平方米。
     由於潔淨室建設費用很高且不同潔淨等級的建設費用相差較大，因此，在潔淨室設計過程中，設計師不僅需要合理布置工藝設備以盡量減少潔淨區的麵積，而且也要針對不同的生產環節設置不同的潔淨等級。目前，12英寸集成電路芯片製造工廠普遍采用“開放式潔淨室加微環境”的方式，將芯片製造過程中對空氣潔淨度要求十分嚴格的矽片加工過程布置在1級-4級的微環境裝置內，而開放式潔淨室的潔淨度等級隻需5級-6級，這樣就有效地降低了建設/運營投資以及能耗。

      在我國，潔淨廠房的能源消耗是相當大的。能源消耗主要用於生產設備用電和用熱、淨化空調係統的耗電/耗熱和冷負荷、冷凍機組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的製取和輸送以及公用設施和照明的用電等。為達到潔淨室要求的空氣潔淨度等級，潔淨室的循環風量很大。一般空調房間的每小時換氣次數隻需要幾次，而潔淨室每小時換氣次數達到10次～600次。由於技術的原因，我國的潔淨室在能耗方麵又高於歐美發達國家。

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